国产首台LED
核心装备成功下线（关注）

　　本报讯  记者张子瑞报道：12月6日，上海理想能源有限公司研制开发的LED 核心制造装备——金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备成功下线，并与台湾燦圆光电公司签订了37台套设备应用验证合同，为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础。

　　据介绍，LED是近年兴起的重要的新型绿色光源产品，MOCVD设备是整个LED照明产业链中最关键的制造装备，其设备成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高，制造工艺复杂，目前全球的MOCVD设备市场主要被国外两家设备供应商所垄断。

　　近年来，随着高亮度LED在户外显示、液晶面板背光、汽车应用等领域渗透率的不断提高，特别是半导体照明市场的启动，对量产型MOCVD设备的需求呈现出爆发性的增长，全球年需求达数百台、市场规模数十亿美元。我国LED外延芯片与封装在规模与品质上都取得了举世瞩目的成就，产品国产化比例显著提升，但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口，生产成本居高不下，严重制约着LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是LED外延芯片企业的迫切要求。

　　2010年9月，理想能源启动MOCVD项目，在短短的两年时间里，设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备，并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装，成功地实现GaN基LED外延片的发光。经过设备原型机近1年的运行证明其性能达到甚至超过预定指标，并于2012年5月通过上海市科委的验收。依据工艺验证结果和客户反馈，在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备，单腔一次可生产84片2英寸外延片，超过主流进口设备。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升，突破了国外同类装备的技术开发壁垒。